三維磁場(chǎng)探針臺(tái)能提供一維 、二維 、三維的磁場(chǎng)探針臺(tái)，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對(duì)亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場(chǎng)。線圈可采用風(fēng)冷（磁場(chǎng)較小）也可采用水冷結(jié)構(gòu)（磁場(chǎng)較大），并且配備有線圈過熱保護(hù)裝置。和高精度雙性直流電源配合使用可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)，便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號(hào)，用來測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等。

應(yīng)用范圍：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)和高精度雙性電源相匹配，通過真正的雙性電源輸出，實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成。

 可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置

t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)

t 超高溫升級(jí)選件

t 超高真空升級(jí)選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉(zhuǎn)接頭      

t 靜音真空泵

 技術(shù)指標(biāo)：