高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環境的高精度實驗臺，它的諸多設計都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如，要求的磁場值，均勻區大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區域內產生的磁通密度相關聯；位移臺還可與磁流體密封搭配，實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動；除此之外，該探針臺和高精度雙性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩定性。因此，該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優化。

高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。 

應用范圍：

磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機械系統，超導電性測試，納米電路的光電屬性，量子點和線，高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。

 可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝置

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

t 1Mpa正壓系統升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉接頭

t 靜音真空泵

技術指標：