美國(guó)SRS PPR系列過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng)

主要應(yīng)用：真空在線檢測(cè)；高真空成份分析；MOCVD 等在線過(guò)程監(jiān)控；10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反應(yīng)過(guò)程檢測(cè)等等

PPR過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)是過(guò)程監(jiān)測(cè)和診斷的真空檢測(cè)儀。兩種不同的進(jìn)氣路徑提供給殘余氣體分析儀（RGA）：一路高壓進(jìn)氣模式用來(lái)檢測(cè)基本真空，一路分壓模式用來(lái)檢測(cè)過(guò)程壓力。壓力減少路徑包含一個(gè)微小孔徑，其目的是使運(yùn)行壓力工作在0.01，0.1，1或10Torr。 它使待測(cè)壓力環(huán)境滿足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統(tǒng)是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。 兩臺(tái)泵為無(wú)油工作，不會(huì)污染您的操作系統(tǒng)。
PPR進(jìn)氣接口鏈接到被檢測(cè)的過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng)有幾種方法。 該系統(tǒng)包括RGA，旁通閥和三通，控制器，渦輪泵，隔膜泵，和Windows 軟件程序進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和控制。
該軟件可用于多種模式，包括模擬掃描，直方圖模式，壓力與時(shí)間模式。雙路法拉第杯和電子倍增器檢測(cè)器，電子倍增器提供更高的靈敏度和較高的掃描速度。PPR系統(tǒng)出廠時(shí)組裝校準(zhǔn)，可便捷的連接到真空系統(tǒng)中。

主要應(yīng)用：真空在線檢測(cè)；高真空成份分析；MOCVD 等在線過(guò)程監(jiān)控；10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反應(yīng)過(guò)程檢測(cè)等等

主要性能

• 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr進(jìn)口壓力

• 3 × 10-5 Torr-L/s流量

• 2秒的響應(yīng)時(shí)間(0.1Torr)

• 100、200或300amu系統(tǒng)

• 現(xiàn)場(chǎng)可替換的電子培增管和燈絲

• 6個(gè)數(shù)量級(jí)動(dòng)態(tài)范圍