沈陽科晶 1700℃雙溫區高溫真空管式爐

安裝條件

本設筐要求在海拔1000m以下，溫度25。。=15。（2,濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地

3、 氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帝有寶塔接頭，可自斐改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺：尺寸1200mm*600mmx700mm,承重300kg以上

5、 通風裝豈：需要

主要特點

1、 雙層殼體，爐膛采用高純氧化鋁纖維，設有風冷系統，殼體表面溫度＜60°Co

2、 內爐膛表面涂有進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

3、 PID控制器，每個溫區可獨立控制，可以設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶報警功能。

4、 已通過CE認證。

技術參教

1、 電源：AC 220V 50Hz 60Hz 9KW

2、 氧化鋁陶瓷管：外徑060mm，內徑054mm，長1000mm

3、 加熱元件：溫區I為1500‘C級硅碳棒，溫區II為ISOO’C級硅鑰棒

4、 加熱區域：每個溫區300mm

5、 工作溫度：800°C-1400*C （溫區D , 800°C-1700*C （溫區II）

6、 升溫速率：溫區I為20幻口血，溫區II為10‘Cmin

7、 控溫精度：±rc

8、 熱電偶：B型

產品規格

尺寸：780mmx 450mm X720mm；重里：150kg

標準反件

1

氧化鋁管 1根

2

不銹鋼法蘭 1套

可迭聲件

1、 KF25轉接頭

2、 VCR雙卡套接頭

3、 數字真空計

4、 鉉說式法蘭