安裝條件

本設(shè)筐要求在海拔1000m以下，溫度25。。=15。（2,濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地

3、 氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帝有寶塔接頭，可自斐改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺(tái)：尺寸1200mm*600mmx700mm,承重300kg以上

5、 通風(fēng)裝豈:—需要

主要特點(diǎn)

1、 雙層殼體，設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度＜60'C。

2、 采爐膛用高純氧化鋁纖維保溫材料，可有效的減少熱里的損失，提高加熱效率。

3、 PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、 已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參教

1、 電源：AC 220V 50Hz 60Hz 3KW （需30A的空氣開關(guān)）

2、 剛玉管：外徑060mm，內(nèi)徑054mm，長(zhǎng)1000mm

3、 加熱元件：1800°C級(jí)硅鋁棒

4、 加熱區(qū)域：300mm

5、 高溫度：1700^#C

6、 升降溫速率:10°C min

7、 控溫精度：±rc

8、 真空度：10-3torr （戲旌片機(jī)械泵），lO^orr （分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：445mmX 380mm X615mm；重里：150kg

標(biāo)準(zhǔn)反件

1 剛玉管

1根

2 氧化鋁管堵

2個(gè)

3 不銹鋼法蘭

1套

可迭聲件

1、 移動(dòng)爐架

2、 鉉說(shuō)式法蘭

3、 KF25轉(zhuǎn)接頭

4、 不銹鋼卡套接頭

5、 訪腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

6、 波

2、pc控制軟件