安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25G15C 濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需裳

2、 電：AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、 '：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帀有寶塔接頭，可自菱改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺：尺寸1200mmx600mmx700mm,承重300kg以上

5、 通風裝置：需要

主要特點

1、 雙層殼體，爐膛釆用高純氧化鋁纖維，設有風冷系統，殼體表面溫度＜55°Co

2、 內爐膛表面涂有進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

3、 PID控制器，可以設置30段升降溫程序。

4、 已通過CE認證。

技術參數

1、 電源：AC 220V 50Hz 60Hz 5KW

2、 氧化鋁管：外徑060mm，內徑054mm，長1000mm

3、 加熱元件:1750*C級硅鋁棲

4、 加熱區域：457mm

5、 工作溫度：高1600‘C，連續800-1500‘C

6、 升降溫速率:10*C/min （＜1200*0,5°C mm （＞1200°C）

7、 控溫精度：

8、 真空度：lO-’torr （機械泵），lO-'torr （分子泵）

產品規格

尺寸：590mm X490mmX 760mm ；重熨：150kg

標準酉I件

1 氧化鋁管

1根

2 氧化鋁管堵

2個

3 不銹鋼法蘭

1套

可迭酉I件

1、 移動爐架

2、 波紋管

3、 數字真空計

4、 KF25轉接頭

5、 不銹鋼卡套接頭