沈陽科晶GSL-1100X-XX-S大口徑管式爐

簡要描述：沈陽科晶GSL-1100X-XX-S大口徑管式爐是一款雙混區的大口徑管式爐,爐管兩壷安裝有狡鏈式不銹鋼密封法蘭。此款管式爐可廣泛地應用于在真空或氣氛保護環境下對材料迸行燒結或退火等熱處理。溫控方面，設備可達到高溫度為1100°。可設置30段升降溫程序，控溫精度為T-1°U

產品型號：

所屬分類：沈陽科晶

更新時間：2023-08-02

廠商性質：經銷商

詳情介紹

產品簡介：GSL-1100X-XX-S是一款雙混區的大口徑管式爐,爐管兩壷安裝有狡鏈式不銹鋼密封法蘭。此款管式爐可廣泛地應用于在真空或氣氛保護環境下對材料迸行燒結或退火等熱處理。溫控方面，設備可達到高溫度為1100°。可設置30段升降溫程序，控溫精度為T-1°U

產品型號

GSL-1100X-6-S2

GSL-1100X-8.5-S2

GSL-1100X-11-S2

安裝條件

本設笛要求在海拔1000m以下，溫度25°C±15°C,濕度55%Rh±1O%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭.可自耍改制成為雙卡套接頭）

4, 工作臺：R\T600mmx600mmx700mm,承重200kg以上

5、通風裝豊：需要。

主要特點

爐體結構

設備中配有2個氧化鋁管堵，設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩靖（恒溫區和密封圈的密封性）

高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高混氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

該爐可作為退火或擴散爐，大可用于8"晶片放在對應石英舟中密封法蘭

采用較鏈式法蘭和。形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr （參考值）

可選購一莫溫度測試裝置（鎧裝熱偶、補償導線和溫度儀表）.用于測試爐管內部的溫度